基本上，它的敏感元件是硅膜片。根据不同的机理，MEMS压力传感器可以分为三种类型:压阻式压力传感器、电容式压力传感器和谐振式压力传感器。一些典型的MEMS传感器1MEMS压力传感器。机油压力传感器机油压力传感器安装在发动机的主油道上。当发动机运转时，压力测量装置检测机油压力，将压力信号转换成电信号，并发送给信号处理电路。
什么是MEMS传感器？
什么是MEMS传感器？在微电子技术高速发展的浪潮中，MENS传感器的应用也广泛起来。例如气体成分检测3D定位技术特殊环境的参数监测等应用。MEMS是微型电子机械系统，MEMS传感器采用微机械加工技术制造的新型传感器，属于MEMS器件的重要分支。依赖MEMS技术传感器的技术特点1微型化 ，其芯片尺寸基本为纳米与微米级别。
2多样化，主要在其工艺应用领域及材料方面多样化。3集成化，在功能敏感方向不同的多个传感器集成形成阵列与系统。4批量化，适合大批量生产，成本不高。5尺寸相应现象，由于尺寸缩小也会有些影响，如尺寸效应微摩擦学微构造学微热力学等。一些典型的MEMS传感器1MEMS压力传感器。其发展迅速，应用广泛。
基本上它的敏感元件为硅膜片，根据机理不同可将MEMS压力传感器分为三种形式，分别是压阻式压力传感器电容式压力传感器谐振式压力传感器。2MEMS加速度传感器。根据原理可分压阻式压电式电容式热电偶式光波导式等MEMS加速度传感器，可应用最为广泛的还属于电容式加速度传感器。3MEMS陀螺仪。
汽车常用的传感器有哪几种？都是怎么工作的？
有曲轴位置传感器曲轴位置传感器的作用就是确定曲轴的位置，也就是曲轴的转角以及发动机转速。它通常要配合凸轮轴位置传感器一起来工作——确定基本点火时刻。我们都知道，发动机是在压缩冲程末开始点火的，那么发动机电脑是怎么知道哪缸该点火了呢？就是通过曲轴位置传感器和凸轮轴位置传感器的信号来计算的，通过曲轴位置传感器，可以知道哪缸活塞处于上止点，通过凸轮轴位置传感器，可以知道哪缸活塞是在压缩冲程中。
这样，发动机电脑知道了该什么时候给哪缸点火了。凸轮轴位置传感器凸轮轴位置传感器作用是采集凸轮轴动角度信号，并输入电子控制单元(ECU)，以便确定点火时刻和喷油时刻，所以进气和排气都有。从而进行顺序喷油控制点火时刻控制和爆燃控制。此外，凸轮轴位置信号还用于发动机起动时识别出第一次点火时刻。因为凸轮轴位置传感器能够识别哪一个气缸活塞即将到达上止点，所以称为气缸识别传感器。
凸轮轴位置传感器和曲轴位置传感器的结构和工作原理基本相同，而且通常安装在一起，只是各车型安装位置不同，但必须安装在与曲轴有精确传动关系的位置处，如曲轴凸轮轴飞轮或分电器处节气门位置传感器节气门位置传感器主要功用是检测出发动机是处于怠速工况还是负荷工况，是加速工况还是减速工况。电阻器的转轴与节气门联动，它有两个触点全开触点和怠速触点。
当节气门处于怠速位置时，怠速触点闭合，向计算机输出怠速工况信号当节气门处于其它位置时，怠速触点张开，输出相对于节气门不同转角的电压信号，计算机便根据信号电压值识别发动机的负荷根据信号电压在一定时间内的变化增减率识别是加速工况还是减速工况。计算机根据这些工况信息来修正喷油量，或者进行断油控制。还有气缸爆震传感器爆震传感器的工作是抑制发动机的爆震发生，工程师在调校爆震感知传感器时会把爆震的震动模式写入发动机电脑中，传感器一旦感知气缸爆震，就会传给电脑，电脑会控制喷油还有进气压力传感器 进气压力传感器工作是以真空管连接进气歧管，随着引擎不同的转速负荷，感应进气歧管内的真空变化，再从感知器内部电阻的改变，转换成电压信号，供ECM电脑修正喷油量和点火正时角度。
也就是说，ECM电脑向进气压力传感器输出5V电压，然后信号端子检测电压值。发动机怠速时，计算机的电压信号约为11.5V，节气门全开时，电压信号约为4.5V氧传感器氧传感器用于检测废气中的氧含量，获得混合气的空燃比浓度信号。这个信号输入到ECM后，ECM根据这个信号调整发动机的喷油量，实现闭环控制，使催化转化器起到更好的净化作用。
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